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半导体应变片结构示意电路图
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来源:
电子市场
时间:
2008-5-4 1:50:56
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半导体应变片主要是利用硅半导体材料的压阻效应而制成的。如果在半导体晶体上施加作用力，晶体除产生应变外，其电阻率会发生变化。这种由外力引起半导体材料电阻率变化的现象称为半导体的压阻效应。
半导体应变片是直接用单晶锗或单晶硅等半导体材料进行切割、研磨、切条、焊引线、粘贴一系列工艺制作过程完成的，它的结构如图所示。
半导体应变片和金属电阻应变片相比，它的灵敏系数很高，可达100-200，但它在温度稳定性和重复性方面不如金属电阻应变片优良。
图：半导体应变片结构示意图
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